半导体晶圆生产过程中的安全门监控
日期:2021-09-21
用于半导体晶圆生产的流程机器具有许多入口门。安全开关 STR1 和 Flexi Compact 安全控制器监控这些入口门。借助安全传感器级联 Flexi Loop,布线极其简单、高效。通过对传感器单独监控并进行详细诊断,还可以快速解决问题。
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