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HEIDENHAIN - 直线光栅尺 长度计 角度编码器 旋转编码器 数控系统 测头 信号处理电子装置 数显装置
目录：产品中心发布时间：2022-08-09 11:56:51点击率：540
基本原理和制造工艺
海德汉产品的高质量源自特殊的生产和测量设备。光栅尺的母模版和基体是在专门设计的有特殊温度调控和减振措施的超净车间中生产的。光刻机以及生产和测量直线和圆光栅码盘所需的机器大多由海德汉公司自己开发和制造。
30 m长测量机应用的钢带光栅尺
镀铬的真空设备
我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度计量解决方案，充分体现我们的超强竞争能力。在众多应用中，我们的产品还被大量应用在为标准实验室设计研制的测量和检验设备上，我们的角度编码器被应用在天文望远镜和卫星接收天线上。从中积累的知识也使海德汉公司的标准产品获益。
角度比较仪，测量步距约为0.001"
ALMA射电望远镜，智利查南托（照片：由ESO提供）
高精度光栅 — 高精度的基础
海德汉公司光栅尺或编码器的核心是我们的测量基准，通常为0.25 µm至10 µm线宽的光栅尺。这些高精度的光栅尺采用海德汉公司发明的光刻工艺生产（例如DIADUR 或METALLUR），它是编码器功能和精度的决定性因素。光栅是由一系列等间距排列的刻线和狭缝组成，其间距误差极小，刻线边缘整齐清晰。这些光栅尺能抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。所有测量基准都具有可定义的温度特性。
相位光栅的刻线高度约为0.25 µm
DIADUR DIADUR精密光栅是在基板上沉淀一层极薄的铬，基板通常为玻璃或玻璃陶瓷材质。这种光栅尺精度可达到微米级或亚微米级。
相位光栅 采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅，具有特定光学特性。这种结构的光栅宽度只有几微米，甚至四分之一微米。
OPTODUR OPTODUR光刻工艺生产的光栅具有极高反光率。它由光学三维结构构成，其平面结构类似SUPRADUR光栅。
AURODUR AURODUR光栅尺由高反射率的金线和亚光蚀刻的狭缝组成。AURODUR光栅尺的基体通常为钢带。
AURODUR AURODUR光栅尺由高反射率的金线和亚光蚀刻的狭缝组成。AURODUR光栅尺的基体通常为钢带。
MAGNODUR 微米级磁膜构成的精细磁栅。
METALLUR METALLUR光栅尺具有独特金反光层的光学材料，接近为全平面结构。因此它抗污染能力强。
不同基体材料的DIADUR和METALLUR光栅尺
长度测量
封闭式直线光栅尺 海德汉公司的封闭式直线光栅尺能有效防尘、防切屑和防飞溅的切削液，是机床应用的理想选择。
•精度等级± 2 µm
•测量步距最小至0.001 µm
•最大测量长度30 m（如果需要72 m，可按要求提供）
•安装简单、快捷
•允许较大的安装公差
•能承受大加速度载荷
•抗污染能力强
敞开式直线光栅尺 海德汉公司的敞开式直线光栅尺的读数头 与光栅尺或光栅尺钢带间没有机械接触。 这些光栅尺的典型应用领域为测量机、比 较仪和其它高精度设备以及生产和测量设 备，例如半导体行业中的设备。 • 精度等级不低于± 0.5 µm • 测量步距达0.001 µm（1 nm） • 测量长度达30 m • 读数头与光栅尺间无磨擦 • 尺寸紧凑和重量轻 • 高运动速度
封闭式直线光栅尺有 • 标准外壳 – 用于振动强烈的应用 – 最大测量长度达30 m（如果需要 72 m，可按要求提供） • 紧凑外壳 – 用于安装空间有限的应用 – 最大测量长度达2040 mm（自测量长 度1240 mm起，用安装架或涨紧元件 安装） 海德汉封闭式直线光栅尺的铝外壳有效保 护光栅尺、读数头和导轨，避免其受灰尘、 切屑和切削液的影响。自动向下压的弹性 密封条保持外壳密封。 读数头沿光栅尺带上摩擦力极小的导轨运 动。读数头通过一个联轴器与外部安装架 连接，联轴器可以补偿光栅尺与机床导轨 间不可避免的对正误差。
更多资料：
海德汉综合样本.pdf